简单地说,空分工艺就是用来把空气中的各组份气体分离,生产氧气、氮气和氩气的一套工业设备,还有稀有气体氦氖、氩、氪、氙、氡等。工业气体包含氧气、氮气、氩气、氖气、氦气、氢气、二氧化碳、乙炔等,这些气体广泛应用于冶炼、石化、半导体、航天等各行业中。最常用的空气分离方法是低温精馏法分离。低温分离方法通过压缩循环深度冷冻的方法把空气变成液态,经过低温精馏根据不同沸点而从液态空气中逐步分离生产出氧气、氮气及氩气等惰性气体的设备,广泛应用于传统的冶炼、新型煤化工、大型氮肥、专业气体供应等领域。
其它空气分离方法,如膜分离法、变压吸附法(PSA)和真空变压吸附法(VPSA)等,主要是应用于从空气中分离单一组分。而用于半导体器件制造的高纯氧、氮和氩需要低温精馏法。同样,稀有气体氖、氪和氙的可行来源是也使用低温精馏法。